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【2h】

High-performance chemical-bath deposited CdS thin-film transistors with ZrO2 gate dielectric

机译：高性能化学浴沉积Cds薄膜晶体管 ZrO2栅极电介质

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We demonstrate high performance chemical bath deposited CdS thin-filmtransistors TFTs using atomic layer deposited ZrO2 based high-k gate dielectricmaterial.

机译：我们演示了使用基于原子层沉积的ZrO2的高k栅极介电材料的高性能化学浴沉积CdS薄膜晶体管TFT。

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作者
Dondapati, Hareesh; Ha, Duc; Jenrette, Erin; Xiao, Bo; Pradhan, A. K.;
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作者单位

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年度 2015
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